真空技术及其应用领域的耕耘者——记中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司总经理李昌龙

   

    2003年非典期间，如何快速的知道自己的体温？KHC型快速红外测温仪的投入使用，极大地提高了测量体温的效率和准确率。一时间KHC型快速红外测温仪被誉为“测温神器”。这个“神器”其实是由李昌龙和他的团队仅用8天时间就成功将其推向市场，为有效防治非典做出了贡献。

　　

　　中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司总经理李昌龙凭借在真空技术和其应用领域的精湛造诣，荣获了辽宁“五一”劳动奖章，并成为享受政府津贴的青年专家。

　　打破发达国家技术封锁

　　非典期间，人们谈“温”色变，急需一个快速测量体温的仪器，以最简洁最快速的方式测出体温，让公众消除恐惧，这个重任就落在了李昌龙的肩上。面对公众的期待，李昌龙和他的团队争分夺秒，不负众望，仅用8天时间就成功开发了KHC型快速红外测温仪，并成功投入使用，为辽沈人民防治非典做出了贡献。该项成果荣获辽宁省科技进步三等奖，他本人也被授予“中科院沈阳分院系统防治非典科技攻关工作优秀共产党员”的称号。

　　他带领团队还成功研制了载人航天工程配套项目——“大型热真空环境模拟实验系统”，为我国首次载人航天飞行的圆满成功做出了突出贡献，受到了载人航天办公室的表奖。承担并完成了国家重点工程项目“上海第三代光源”前端区、光束线、神光Ⅲ原型装置中空间滤波器、真空靶室、激光束参数真空诊断容器的研制任务以及兰州重离子加速器二期扩建项目“SFC真空室改造”等众多项目。

　　在致力于科研开发的同时，李昌龙还充分发挥青年领军人才的技术带头作用，凭借多年的技术累积和管理经验，在大型科研项目管理和产业化方面颇有建树，建立和培养了一支学历结构、年龄结构科学合理、专业技术过硬的专业科研队伍，通过采取“请进来”、“派出去”、“定点培养”等方式对科技人才进行多渠道、多形式培养。通过不断摸索创新，由李昌龙领军的科研团队搭建起真空获得方面国内一流水准的研究开发与试验验证平台，为我国大型真空应用设备领域，特别是真空获得设备研发及产业化做出了突出贡献。

　　作为一名出色的技术带头人，李昌龙组织科研人员先后承担并完成了30多项国家和地方科研项目，多次打破了西方国家的技术封锁，填补了国内空白。十几项技术成果达到了国际先进水平，解决了多项制约国家、地方新兴产业发展的关键难题。

　　推动IC装备产业发展

　　高端装备制造业是衡量一个国家产业核心竞争力重要的标志，而其中的IC装备产业则是支撑当今科学技术发展的基础产业。在集成电路生产线种类众多的整机装备中，70%左右都需要在真空的工艺环境生产组装。真空干泵及真空阀门是关键的洁净真空子系统，其作用是获得、维持与控制集成电路装备整机洁净真空运行环境，在生产线中应用最为普遍，市场需求巨大。

　　在真空干泵的研发过程中，李昌龙带领研发团队，先后攻克了集成电路制造工艺与洁净真空获得系统优化组合、全新理论型线设计与多种转子形式组合、全新密封结构和振动/噪声抑制方法、表面防腐技术、独特的控制/反馈软件与通用控制接口结合、阀门密封技术以及独特的电机与驱动系统设计等关键技术。他以市场需求为导向，通过一系列技术参数验证、可靠性测试、模拟及现场测试，研究开发适用于各个工艺环境下的真空获得系统，形成具有同类产品国际先进水平和完全自主知识产权的系列产品，具备国际市场竞争力，填补了国内市场空白，加快了我国集成电路装备制造业的发展。

　　作为项目具体负责人，李昌龙承担了国家发改委振兴东北老工业基地高新技术产业化示范工程专项——IC装备超洁净真空的研制并开展了系统项目的实施工作，组织承担并完成了国家“十五”IC装备重大专项子课题——IC生产线用罗茨干泵项目。

　　几年来，在有关部门的大力支持下，李昌龙成功地组织申报多项国家重大科技专项项目，推动实施了一批具有自主知识产权的IC装备整机和关键子系统项目的开发工作。同时，他还组织本单位技术团队承担了国家“十一五”重大项目——“干泵与系列真空阀门产品研发与产业化”的科研任务，并取得了阶段性成果，实现了4种干泵及阀门产品的国产化生产和产业化应用，申报专利30余项。不仅填补了国内在该领域的空白，也大大提升了沈阳在全国科技创新体系中的地位。

　　助推辽宁新一轮全面振兴

　　为推动地方产业升级和发展战略性新兴产业的发展，李昌龙还积极参加地方政府的科技规划和科技咨询。

　　他参与规划并实施了沈阳IC装备发展战略，协助政府召开了“沈阳IC装备制造业国际论坛”，成立了“沈阳IC3国际俱乐部”，并以此汇聚了国内外集成电路装备制造的专业人士共商沈阳IC装备制造产业发展大计。参与并发起成立的“沈阳IC装备产业技术创新联盟”、“辽宁省半导体装备产业技术创新战略联盟”、“沈阳真空装备技术创新联盟”现已发展成为年新增产值近20亿元的产业集群。

　　依托此创新平台，李昌龙组织团队向大半导体产业等战略性新兴产业延伸，成功地研发了“太阳能电池覆膜制备设备”、“LED蓝宝石晶体生长炉”等产品，每年新增产值达亿元以上。

　　多年来，李昌龙致力于推动真空行业的科技进步和技术创新，为地方经济的发展、产业技术的升级和战略性新兴产业发展做出了重要贡献并创造了显著的经济效益和社会效益。